上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
イオンダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載。
関連情報
手軽に電極膜作製 デスクトップコンパクトコーター
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【仕様】
〇ターゲットサイズ：φ49mm
〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd/Ag
〇試料サイズ：φ50mm(Max)
〇排気操作：手動式
〇排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式：DC/平行平板型
〇寸法(W/D/H)：160/326/286mm
電子顕微鏡試料作製用装置 SC-701Mk II ECO
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【仕様】
○ターゲットサイズ：φ49ｍｍ
〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd
○試料サイズ：φ50ｍｍ(Max)
○排気操作：手動式
〇排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L/min
○スパッタ方式：DCマグネトロン／平行平板型
○寸法(W/D/H)：160/255/286mm
デスクトップクイックコーター「SC-701MkII」
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【仕様】
○ターゲットサイズ：49ｍｍ dia.／ Au×1
○試料台サイズ：50ｍｍ dia.（T-S間調節範囲 - 20、30、40ｍｍ）
○排気操作：手動式
○スパッタ方式：DCスパッタ／平行平板型
○高圧電源：1.2kV／0～9.9mA
○到達圧力：5Pa
○チャンバーサイズ：90(dia.)×90(depth)ｍｍ（SUS製）
○タイマー：0～15min（最長30min）
○ガス導入機構：ニードルバルブ 導入口径外径φ6mm ワンタッチ継手
○排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L／min（自動リーク付）
○設置電源：単相 AC100V±10％ 50/60Hz 7A
○寸法・重量
→本体：160(W)×326(D)×286(H)mm、10kg
→RP：295.5(W)×156(D)×199.5(H)mm、9kg
○オプションターゲット：Ag、Pt、Pd、Au-Pd、Pt-Pd
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お問い合わせ
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