上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
排気操作完全自動式で、かつ膜厚制御連動式です。
SEM用試料作製の他、デバイスの電極膜付けにも最適できます。
関連情報
手軽に電極膜作製 デスクトップコンパクトコーター
-
-
【仕様】
〇ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd/Ag
〇試料サイズ:φ50mm(Max)
〇排気操作:手動式
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式:DC/平行平板型
〇寸法(W/D/H):160/326/286mm
全自動イオンコーター SC-701AT
-
-
【仕様】
〇ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd
〇試料サイズ:φ50mm(Max)
〇排気操作:自動
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇寸法(W/D/H):225/420/320
電子顕微鏡試料作製用装置 SC-701Mk II ECO
-
-
【仕様】
○ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd
○試料サイズ:φ50mm(Max)
○排気操作:手動式
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min
○スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型
○寸法(W/D/H):160/255/286mm
デスクトップ全自動コーター
-
-
【仕様】
○ターゲットサイズ:φ49mm
○試料台サイズ:φ70mm(高さ調節範囲 - 15/20/60mm)
○排気操作:全自動
○スパッタ方式:DCスパッタ/平行平板型
○膜厚設定方式:オートプリセット方式(デジタル表示膜厚モニター付)
○高圧電源:1kV/0~20mA
○到達圧力:10Pa
○チャンバーサイズ:120(dia.)×120(depth)mm(ステンレス製)
○ガス導入機構:ニードルバルブ
○排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
○設置電源:単相 AC100V±10% 50/60Hz 10A
○寸法・重量
→本体:225(W)×420(D)×320(H)mm、15kg
→RP:300(W)×160(D)×200(H)mm、9kg
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
サンユー電子株式会社