上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
私たちサンユー電子は、そのような日夜研究開発に取り組む方々の活躍を陰ながら応援する、“黒子”としての役割を大事にし、かつ、誇りを持ってものづくりに臨み続けています。
『真空応用機器/電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ』には、ご好評をいただいているQUICK COATER SCシリーズなどの薄膜作製用装置を中心とした真空応用機器、主に走査電子顕微鏡(SEM)の付加価値を高めるための各種機器を擁した電子顕微鏡関連機器など、多数の製品を掲載しています。
関連情報
サンユー電子 真空応用機器/電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ
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【掲載製品】
[真空応用機器]
○QUICK COATER SCシリーズ
→SEM・EPMA 前処理装置/電極膜(Au・Pt)作製装置
→EDX・EPMA分析用前処理装置
→イージー&シンプルオペレーションのミリング装置
○SVCシリーズ
→抵抗加熱式真空蒸着装置
→電子ビーム式真空蒸着装置
→RFマグネトロンスパッタ装置:Iシリーズ/IIシリーズ
[電子顕微鏡関連機器]
○SUP/SDM/SPGシリーズ
→SEM画像取込装置
→三次元計測装置
→電子線描画用パターン発生装置
○SSM/SS/SHシリーズ
→カソードルミネッセンス検出器システム
→EBIC計測システム
→SEM用疲労試験装置
→SEM用加熱ホルダ
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
電子顕微鏡関連機器 電子線描画用パターン発生装置 SPG-724
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【仕様】
[描画基本機能]
○描画方式:ラスタースキャン/ブロックスキャン
○フィールドサイズ
→ラスタースキャン:50/100/200/500μm□
→ブロックスキャン:1mm~5mm□
○描画画素数
→ラスタースキャン:1000²/2000²/4000²/5000²/10000²dot
→ブロックスキャン:1000²dot
○最小アドレスサイズ:5nm/dat
○ドーズタイム:0.5μsec/dot~10msec/dot
[制御系]
○PC(OS):Microsoft・Windows
○CAD:CANVAS
[設置条件/寸法]
○電源容量:単相100V 50/60Hz 10A
○寸法:約450W×600D×600Hmm
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お問い合わせ
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