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関連情報
コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」
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【基本仕様(抜粋)】
○放電形態:直流マグネトロン
○放電制御:定電流 30mA
○圧力制御:ニードルバルブによる手動制御
○プロセス時間:最大15min/タイマー制御
○プロセスガス:Ar(導入圧力 0.1MPa以下)
○プロセスガス導入口:φ6mmワンタッチ継手(シンフレックスチューブ用)
○ターゲットサイズ:φ49mm、t0.5mm(最大)
○ターゲット装着数:3種類
○適用可能ターゲット
→Au、Pt、Au-Pd、Pt-Pd、Ag、Pd、W、Ni、Mo、Cr、Ti、Al、Cu、Fe
○試料サイズ:最大φ50mm
○試料選択:ステージ回転式
○ターゲット/試料間(TS)距離:20mm、30mm、40mm
○ターゲット選択:シャッター方式
○給電方式:単独給電切替式(電源パネル操作)
○排気系:ターボ分子ポンプ(TMP) 67L/s(N2)、油回転ポンプ(RP) 20L/min
○到達真空度:1×10⁻³Pa以下
○真空度測定:コンビネーション型真空計(電離真空計+ピラニー真空計)
●詳しくはお問い合わせください。
コンパクトコーター SVC-700TMSG/Adexcel
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【仕様】
○放電形態:直流マグネトロン
○放電制御:定電流 30mA
○圧力制御:ニードルバルブによる手動制御
○プロセス時間:最大15min/タイマー制御
○プロセスガス:Ar(導入圧力 0.1MPa以下)
○プロセスガス導入口:Φ6mmワンタッチ継手(シンフレックスチューブ用)
○ターゲットサイズ:Φ49mm、t0.5mm(最大)
○ターゲット装着数:3種類
○適用可能ターゲット
→Au、Pt、Au-Pd、Pt-Pd、Ag、Pd、W、Ni、Mo、Cr、Ti、Al、Cu、Fe
○試料サイズ:最大Φ50mm
○試料選択:ステージ回転式
○ターゲット/試料間(TS)距離:20mm、30mm、40mm
○ターゲット選択:シャッター方式
○給電方式:単独給電切替式(電源パネル操作)
○排気系:ターボ分子ポンプ(TMP) 67L/s(N2)、油回転ポンプ(RP) 20L/min
○到達真空度:1×10⁻³Pa以下
○真空度測定:コンビネーション型真空計(電離真空計+ピラニー真空計)
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