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関連情報
デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』
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【製品仕様】
スパッタ方式:RFマグネトロンスパッタ方式
カソード:φ2インチ×3源/水冷式 スパッタアップ
スパッタ電源:RF電源 13.56MHz Max. 200W(手動式マッチングユニット付)
到達真空度:10^-4 Pa台
寸法:
SVC-700RFIII(制御ユニット):W370×D310×H195mm
RF CONTROL UNIT:W370×D310×H158mm
チャンバーユニット:W370×D540×H400mm
所要電源:AC100V 50/60Hz 15A 1系統 3pinプラグ
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