サンユー電子株式会社

「デスクトップRFスパッタ装置 SVC-700RFIII」カタログ

最終更新日: 2022-08-24 09:34:46.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』
デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』 製品画像

【製品仕様】
スパッタ方式:RFマグネトロンスパッタ方式
カソード:φ2インチ×3源/水冷式 スパッタアップ
スパッタ電源:RF電源 13.56MHz Max. 200W(手動式マッチングユニット付)
到達真空度:10^-4 Pa台
寸法:
 SVC-700RFIII(制御ユニット):W370×D310×H195mm
 RF CONTROL UNIT:W370×D310×H158mm
 チャンバーユニット:W370×D540×H400mm
所要電源:AC100V 50/60Hz 15A 1系統 3pinプラグ

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