0~20 sccm/minの微小から0~500slm/minの大流量レンジまで14レンジ用意。計測精度は±1.5%FSです。
マクミラン社のマスフローメータ50シリーズは、クリーンでドライな気体を0~20sccm/minのような小さい流量から0~500sLm/minのような大きな流量まで、計測精度±1.5%FSで14種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマスフローセンサ(特許)を採用する事により最小のゼロドリフトを実現し、長期に渡る優れた安定性、再現性、高速応答性を実現しています。全てのモデルはNISTにトレーサビリティが確保されています。使用用途により本体材質、継手、電機接続、電源電圧、など選択する事が可能となており、様々な用途に対応する事が可能です。さらにモデル50D/50SDは流量に応じたリニアなDC 0~5V出力そして3-1/2桁で瞬時流量を計測表示します。
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型番・ブランド名 | マクミラン マスフローセンサ Model 50シリーズ |
用途/実績例 |
特徴 ■高速応答 ■メンテナンスフリー ■ゼロドロフトが少なく長期安定性再現性に優れる ■0~20sccm/min~500slm/min まで14レンジ ■精度±1.5%FS ■再現性 ±0.25%FS ■豊富な本体材質、豊富な圧力接続継手 ■電源電圧 12VDC オプショでン24VDC ■豊富な電機接続 |
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マクミラン マスフローセンサ Model 50シリーズ
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