エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部

マクミラン 超高純度用 薬液流量センサU701/702シリーズ

最終更新日: 2017-10-30 15:47:30.0

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薬液流量センサU701/702/705/706シリーズ低粘度の液体を15mL/minの低流量から〜50L/minのまで測定

この製品シリーズは低粘度の液体を15mL/minの低流量から〜50L/minの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。U705/706についてはオプションでSuper300シリーズ(日本ピラー適合)に変更することも可能です。電気ケーブル長、電源や出力をいくつかのオプションから選択できるので、各種用途に利用しやすくなっています。

この製品シリーズは低粘度の液体を15mL/minの低流量から〜50L/minの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。U705/706についてはオプションでSuper300シリーズ(日本ピラー適合)に変更することも可能です。電気ケーブル長、電源や出力をいくつかのオプションから選択できるので、各種用途に利用しやすくなっています。
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型番・ブランド名 モデルU701/702/705/706
用途/実績例 U701/702はU字型の流路設計の特徴を持ち片面での配管、省スペースのデザイン
U705/706はストレートタイプの流路設計
接液部材質はPTFE

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