ウェハーグリッパーSWGmは、太陽電池用ウェハーやセルの搬送に特化した真空グリッパーです。
グリッパーの吸着面が、単結晶および多結晶の5~6インチのウェハー・セルと同等のサイズのため、吸着時の局所的な負荷による破損を防ぎます。
ベルヌーイ型のグリッパーと比較して、横ずれが少なく、エア消費量を抑えることができます。
グリッパー本体にホースを接続し、排気場所を任意に設定できるため、吸着搬送時に埃を巻き上げず、クリーンルームでの使用にも適しています。
最新型のSWGmでは、排気口の位置が側面のタイプと上方のタイプから選択することができます。
グリッパー単品での使用の他、ソレノイドバルブや緩衝用のパッド等、使用環境に合わせて機能を追加することも可能です。
基本情報
シュマルツ製ウェハーグリッパーSWGmシリーズ
主な特長:
1. 吸着面が5インチおよび6インチのシリコンウェハー、セルと
同サイズであり、吸着時の負荷を軽減しながら安定した搬送を実現
2. 吸込み量増加ブースターを装着可能な機種をラインアップし、
吸込み量が向上
3. ホースを接続し、任意の場所で排気ができるため、
クリーンルームでの使用が可能
4. コンパクトかつ軽量で、高速搬送に最適
5. パラレルリンクロボット用フランジや、緩衝用パッド、センサーを
追加可能なモジュール構造
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 |
お問い合わせください
※ 構成によって異なりますので、お手数ですがお問い合わせください。 |
型番・ブランド名 | SWGm |
用途/実績例 | ・5~6インチのシリコーンウェハーの搬送 ・5~6インチのシリコーンセルの搬送 |
詳細情報
太陽電池用ウェハーやセルの搬送に特化した真空グリッパー
吸着プレート:115x115mm、146x146mm
排気エア接続位置:上部、側面
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シュマルツ株式会社