SCHOTTは、30umの超薄板ガラスをはじめ様々な種類・板厚のガラス材料や精密な孔開け加工を施した製品を提供することにより半導体および電子部品、例として通信技術の核となるRFフロントエンド向け用途など各種センサーの小型化を可能にします。
3Dイメージングやセンシングコンポーネント(CMOS、WLP、WLO、IRカットフィルター等)向け薄板ガラスにD263シリーズ、MEMpax、TEMPAX Float、AF32eco、B270シリーズを提供します。
革新的な孔開けガラス基板であるFLEXINITYは、精密な形状精度、高い表面品質を持ち車載圧力センサー、ToFカメラ、ストラクチャードライト、ステレオカメラ等の3Dイメージセンシング向けの様々な用途向けにも供給しています。
各硝種のCTE値 (単位:10–6 K–1)
■D 263 T eco 7.2
■TEMPAX Float 3.25
■AF 32 eco 3.2
■B 270 9.4
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基本情報
【ラインアップと特長】
■D263シリーズ(ホウケイ酸ガラス):広範囲な板厚(0.03~1.1mm)、ダイシングやカッティングが容易
■MEMpax(ホウケイ酸ガラス):研磨不要な表面品質を0.5mm以下の板厚で実現。また、熱線膨張係数が小さく陽極接合に適する
■TEMPAX Float(ホウケイ酸ガラス):広範囲な板厚(0.4~25.4mm)、熱線膨張係数が小さく陽極接合に適する
■AF32eco:無アルカリで半導体工程に適合
【その他の特長】
■ワイドな寸法・形状に対応
■陽極接合
■標準仕様でもタイトな寸法公差(FLEXINITY)
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