ショット日本株式会社

低膨張ガラスセラミックス ZERODUR(R)

最終更新日: 2023-08-24 15:23:07.0
ZERODUR(R)は極めて低い熱膨張率を誇り、正確なポジショニングやイメージングが必要なアプリケーションに最適です.

ショットの超低膨張ガラスセラミックス、ゼロデュア( ZERODUR(R) )は、その開発から50年以上に亘り、半導体・FPD露光装置、高精度計測、及び天文・宇宙などのアプリケーションにおいて使用されています。
複数の熱膨張クラスが設定されているので、お客様のご使用条件に合ったものを選択いただけます。
また、当社でCNC加工も行っていますのでお気軽にご相談下さい。


基本情報

【ZERODUR(R)の特徴】
・熱膨張係数が極めて小さい
・均一な熱膨張
・加工性が高い
・化学的安定性に優れる

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ・リソグラフィ機器の光学素子
・高精度の機械部品
・高精度測定用の基準物質
・大型天体望遠鏡のミラー基板
・スペーステレスコープのミラー基板

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