上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
精密レンズ金型のクリーニング・リペアに最適。均一なプラズマとガスフロー。マルチステッププロセスでＤＬＣ膜除去＋表面クリーニング。
実績豊富な平行平板型プラズマ処理装置。酸素処理でＤＬＣ膜をドライ除去。Ａｒガスプロセスで金型表面変質層をクリーニング。Ｓｉ含有ＤＬＣも除去可能。
ドライエッチングにも対応。石英やＳｉの微細加工にも実績多数。
光回析講師やナノインプリントモールド作成にテスト・試作から対応。
ドライエッチングにも対応。石英やＳｉの微細加工にも実績多数。
光回析講師やナノインプリントモールド作成にテスト・試作から対応。
関連情報
ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）
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２５０ｍｍ□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。
従来機「ＰＯＥＭ」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とＯ２イオンでＤＬＣを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。
プラズマエッチングで蓄積されたマルチガスプロセスで多様なＤＬＣ膜の除去に対応するとともに微細加工モールドの作成にも実績。ＤＬＣだけでなく有機膜エッチングや石英の微細エッチングにも対応可能なプラズマクリーニング装置
赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置
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独自開発高密度プラズマ源（ＰＩＧプラズマ源）を装備
自公転機構によるハイレート全面成膜機構
各種赤外線光学素子の対応した充実のソフトウェア
お問い合わせ
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神港精機株式会社 東京支店
