上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
関連情報
簡易実験用蒸着装置(EM-645型)
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標準2元の抵抗加熱蒸発源を装備した全手動型蒸着装置。
Φ2~3インチウェハから特殊基板まで柔軟に対応。
蒸発源追加、同時蒸着、基板冷却・高温加熱機構等豊富なオプション
社内デモ機にてサンプルテスト対応
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神港精機株式会社 東京支店