上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
精密熱処理・眞空・雰囲気制御、神港精機のコア技術を凝縮。ニッチプロセスをサポートするカスタマイズ容易なファーネス型アニール装置
２インチから８インチまでのウェハに対応したファーネスタイプのアニール装置です。真空置換後の１００％水素雰囲気中でのアニールが可能です。
水素雰囲気の強い還元力によって他のプロセスでは実現できない効果を実現できます。
御要求に応じて高真空排気、減圧中水素フロー雰囲気・フォーミングガスでの処理など多様な雰囲気処理に対応いたします。（真空およびＮ２・Ａｒ処理にも対応）
均熱性の高い加熱性能に加え急冷機構を標準で装備しており、薄膜の合金化プロセスの制御性とスループットの向上が図れます。
水素雰囲気の強い還元力によって他のプロセスでは実現できない効果を実現できます。
御要求に応じて高真空排気、減圧中水素フロー雰囲気・フォーミングガスでの処理など多様な雰囲気処理に対応いたします。（真空およびＮ２・Ａｒ処理にも対応）
均熱性の高い加熱性能に加え急冷機構を標準で装備しており、薄膜の合金化プロセスの制御性とスループットの向上が図れます。
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神港精機株式会社 東京支店
