上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：２０２１／９／２８
大気非暴露にて成膜～封止まで一貫処理 成膜テストから個別対応 硫化物対応ターゲットやグローブボックスも装備可能な専用機 実績豊富な研究用装置を薄膜固体二次電池の研究用にカスタマイズ3インチカソードの多元スパッタにより正極・電解質を同一バッチで形成。
付属の専用グローブボックスを装備。成膜後の基板を不活性雰囲気内で封止
高品質固体二次電池膜を形成。
ターゲットも専用タイプも用意。ターゲットのカスタマイズにも対応
硫化物膜対応のグローブボックスも装備可能。
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神港精機株式会社 東京支店
