株式会社新興製作所

【加工事例】白色干渉顕微鏡による加工面の測定

最終更新日: 2024-04-23 10:20:11.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

【加工事例】白色干渉顕微鏡による加工面の測定
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【事例概要】
■多結晶セラミックス(ワイヤースライス面からポリシング面)
・スライス面:Sa 0.8446 μm
・ラッピング面:Sa 0.2506 μm
・ポリシング面:Sa 0.00583 μm
■SiC単結晶,SUS316L(ポリシング面)
・SiC単結晶:Sa 0.000458 μm
・SUS316L:Sa 0.000302 μm

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