最終更新日:
2024-04-23 11:09:16.0
mm単位を超える広い面内測定範囲！多結晶セラミックスとSiC単結晶の測定事例
当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。
白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する
顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。
多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、
スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面
Sa 0.00583 μmという結果となりました。
また、SiC単結晶,SUS316Lのポリシング面の測定では、SiC単結晶
Sa 0.000458 μm、SUS316L Sa 0.000302 μmという結果となりました。
【白色干渉顕微鏡 特長】
■非接触＆面測定
・測定対象材質を問わない
・3D計測で面粗さ・線粗さに対応
■広い測定範囲＆高分解能測定
・mm単位を超える広い面内測定範囲
・高さ分解能0.01nm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【事例概要】
■多結晶セラミックス(ワイヤースライス面からポリシング面)
・スライス面：Sa 0.8446 μm
・ラッピング面：Sa 0.2506 μm
・ポリシング面：Sa 0.00583 μm
■SiC単結晶,SUS316L(ポリシング面)
・SiC単結晶：Sa 0.000458 μm
・SUS316L：Sa 0.000302 μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社新興製作所
