最終更新日:
2024-09-18 16:10:43.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
精度に対する絶対的な信頼でLCD トータルピッチ測長機として実績を蓄積!
『SMICシリーズ』は、グラナイト製石定盤、高精度セラミックエア
スライダーとファイバー式レーザー干渉測長システムによる
高精度XYステージ、高平面度ガラステーブル、高性能サーマルクリーン
チャンバーなど、高精度測定を実現するあらゆる技術を駆使した
精密自動2次元座標測定機です。
LCD、有機ELからフォトマスク、光コネクター、TAB、MEMS等の
精密寸法測定にも、その実力を発揮します。
【特長】
■高度な精度保証体系
■高精度XYステージ駆動
■高分解性能光学顕微鏡とLED照明光源(オプション)
■ファイバー式レーザー干渉計
■テーブル平面度調整機構
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新東工業株式会社