■TYPE:SFX-90/SFX-100/SFX-130/SFX-150/SFX-160G
■入力:AC100V 50/60Hz
■消費電力:約1kvVA
■出力最大電圧[kV]:90/100/130/150/160
■出力最大電流[mA]:0.2/0.25/0.3/0.5/0.2
■焦点サイズ[μm]:5/5/8/5/1
■最大設定倍率:約600倍/約600倍/約500倍/約550倍/約1800倍
■カメラ:軟X線 I.I.+CCDカメラ
■解像度:トータル 33.3Lp/mm以上
■移動距離
・X-Yテーブル:250×330mm
・Zテーブル:300mm
・カメラ上下:オプション 400mm
■漏洩線量:1μSv/h以下
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。