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- 【高品質・高性能】『スピンスクラブ洗浄装置シリーズ』のご紹介!
- 量産向け新型【自動スクラブ洗浄装置】と、シリーズ累計200台以上の【フォトマスク洗浄装置】を御紹介します。
- 最終更新日:2022-12-07 13:12:42.0
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- 《新型》UDSスピン枚葉装置(レジスト剥離/リフトオフ系)
- フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向上
- 最終更新日:2023-02-01 10:46:22.0
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- セミオートSPINDipスピン枚葉装置 リフトオフ・レジスト剥離
- 《新型》社内デモ機でさまざまなサイズや基板種、デバイスパターン状態に対応!好適な形にカスタマイズ
- 最終更新日:2023-02-01 11:39:17.0
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- Vertical & Spin枚葉リフトオフ装置
- 有機剥離にもご使用可能!サイクロンや複合金網でフィルター負荷の大幅低減できます
- 最終更新日:2023-01-30 17:51:30.0
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- 全自動バッチ処理装置(基板再生・エッチング・RCA洗浄等)
- 高スループット 高信頼性 低コストなバッチ式処理装置
- 最終更新日:2023-02-01 10:40:25.0
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- 《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置
- RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど!各種プロセス処理に対応実績多数
- 最終更新日:2023-01-30 17:32:16.0
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- 小型マルチスピンプロセッサー エッチング・洗浄・現像
- スキャン時には周速制御による均一性向上も可能!従来より多数の御使用を戴き実績も豊富
- 最終更新日:2022-12-07 13:12:19.0
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- 卓上スピン洗浄装置
- 上位機種と同等の高い洗浄性能が得られます。
- 最終更新日:2022-12-07 13:12:19.0
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- 大型基板用全自動フォトリソ処理装置
- フォトリソプロセス一貫処理が可能
- 最終更新日:2023-01-30 17:58:25.0
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- 大型基板用レジストコータ
- チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れるレジストスピンコートユニット
- 最終更新日:2022-12-07 13:12:19.0
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- セミオートレジストコーター
- レジストコート剤の粘度に応じた好適加速度選択が可能!メンテ性にも気配りをしております
- 最終更新日:2023-01-30 18:01:21.0
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- フォトマスク洗浄装置(セミオート)
- シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。
- 最終更新日:2023-01-30 17:55:26.0
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- 《新型》UDSスピン枚葉装置(エッチング・RCA・洗浄・現像等)
- フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向上
- 最終更新日:2023-02-01 11:40:38.0
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- 《新型》SpinDipプロセッサー リフトオフ・有機剥離・バリ取
- ウルトラソニック超音波をスピン枚葉装置に搭載実用化!
- 最終更新日:2024-02-20 18:34:49.0
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- 《新型》スピンスクラブ自動洗浄装置 (CMP後・研磨後洗浄)
- 量産現場向け 高信頼性自動スクラブ洗浄装置
- 最終更新日:2023-01-30 17:49:00.0
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- スピン&コンベア処理装置 (エッチング・洗浄・剥離)
- 高品質基板を高スループット 且つ 低コストで提供可能!
- 最終更新日:2023-01-30 17:46:25.0
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- スピン枚葉処理装置(エッチング・RCA・洗浄・現像等)
- 高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置
- 最終更新日:2023-02-01 10:47:46.0
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- エキシマUV表面処理装置
- ウェット処理との組合わせ自動処理でプロセスの高品質化
- 最終更新日:2022-12-07 13:12:19.0
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