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ハイパワーハンドリング・IBSコート光学系

最終更新日: 2022-03-09 10:23:36.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

ハイパワーハンドリング / 長寿命 / 低吸収 / 低散乱 IBSコーティングによる頑強な光学系を提案いたします。
◆IBS（Ion-Beam Sputtering）コートにより長寿命、高い損傷閾値、低吸収、高面精度、厳密なスペクトル要求を実現。
◆ミラーやレンズからビームスプリッタ、マルチ波長、偏波ポラライザで様々なカスタムニーズに対応。
・損傷閾値
　>80J/cm2, 1030nm, 10ns
　>30kW/cm (>900kW/cm2), 1070nm CW
　>0.3J/cm2, 1030nm, 50fs, 150kHz
・超高反射ミラー　R >99.998%
・超高精度薄膜ポラライザ　Tp/Ts ratio >10000:1
・超低吸収コーティング　<1ppm
・対応波長レンジ　220nm - 5000nm

関連情報

ハイパワーハンドリング・IBSコート光学系
ハイパワーハンドリング・IBSコート光学系 製品画像
【ラインアップ】
■ウルトラファーストミラー
■レーザーラインミラー
■GTIミラー
■低GDD短パルスミラー
■波長セパレータ
■出力カプラ
■無偏光ビームスプリッタ
■部分反射ミラー
■広帯域誘電体ミラー
■高耐力偏光ビームスプリッタ
■薄膜ポラライザ
■ARコートレンズ・ウィンドウ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
IBSコート光学系 ::::: GTIミラー
IBSコート光学系 ::::: GTIミラー 製品画像
● ネガティブGDD　-20fs ～-2000fs（ポジティブも提案可能）
● >100nmのワイドなスペクトル幅
● 低い第3次分散
● S波・P波ともに >99.95% を超える反射率
● 高い損傷閾値（LIDT） >300mJ/cm2 @50fs, 1030nm
IBSコート光学系 ::::: 部分反射ミラー・出力カプラ
IBSコート光学系 ::::: 部分反射ミラー・出力カプラ 製品画像
● 平面、球状、ウェッジなど様々な形状の提案が可能
● 高い損傷閾値でイントラキャビティ用途に最適化
● 様々な反射率（20:80, 30:70, 40:60, 33:67, 1:99, etc）を0.05%の誤差で実現
● 低吸収のUV・IRグレード溶融石英基板によりベストなパフォーマンス
● セグメント分けされたナイフエッジ設計
IBSコート光学系 ::::: 薄膜ポラライザ
IBSコート光学系 ::::: 薄膜ポラライザ 製品画像
● 消光比 3000:1 を実現（max）
● 用途により最適化：反射率 Rs>99.95% or 透過率 Tp>99.95%
● 45°, 56°, 72°といった様々な入射角対応
● S偏光損傷閾値 >20J/cm2, 1064nm, 10ns, 100Hz
● 単一波長またはブロードバンド
IBSコート光学系 ::::: 短パルスレーザ用 低GDDミラー
IBSコート光学系 ::::: 短パルスレーザ用 低GDDミラー 製品画像
● ウルトラファースト用途に最適化
● GDD（群遅延分散）を限りなく0fsに近く補正
● 最適化されたGDDを保持しながら反射率Rs>99.95%・Rp>99.95%
● 高い損傷閾値 >0.4J/cm2 at 1030nm, -300fs, 1kHz
● ワイドなスペクトル帯域で高い反射率 Ex) 650～1200nm with R>99.9%
IBSコート光学系 ::::: UV波長高出力対応レーザーミラー
IBSコート光学系 ::::: UV波長高出力対応レーザーミラー 製品画像
◆仕様例◆
基板：UVFS
表面品質：10-5, S-D
面精度：λ/8 @ 633 nm over CA
入射角：45°
コーティング：HRsp > 99.7% (@設計波長)
損傷閾値：
　１）343 nm・ピコ秒
　　　> 0.27 J/cm2, 343 nm,1 ps, 50 kHz, p-pol
　　　> 0.52 J/cm2, 343 nm,1 ps, 50 kHz, s-pol
　２）355 nm・ナノ秒
　　　> 6.97 J/cm2, 355 nm, 6 ns,100 Hz, p-pol
　　　> 9.6 J/cm2, 355 nm, 6 ns,100 Hz, s-pol
　３）355 nm・ピコ秒
　　　> 0.25 J/cm2, 355 nm,1 ps, 50 kHz, p-pol
　　　> 0.5 J/cm2, 355 nm,1 ps, 50 kHz, s-pol
【レーザー光学系】IBSコーティングの実力
【レーザー光学系】IBSコーティングの実力 製品画像
高い損傷閾値
● >80 J/cm2, 1030 nm, 10 ns
● >1 J/cm2, 1030 nm, 1 ps
● >30 kW/cm (900 kW/cm2), 1070 nm CW
● >1 J/cm2 @ 1030 nm, 500 fs, 10 kHz, s-pol
●>0.25 J/cm2 @ 266 nm, 180 fs, 10 kHz

超低ロスコーティング
● Super Mirrors HR (R>99.998%)
● 精密薄膜ポラライザ　(Tp/Ts ratio > 10000:1)
● R<0.01%　ARコーティング
● 吸収ロス <1 ppmのコーティング

OPTOMANの特技
● ナイフエッジ光学系のコーティング (edge chips <50 µm)
● 基板に対してアパーチャー100%を可能にするコーティング
● 部分分けされたコーティング
● ストレス補正されたコーティング (PV flatness <λ/20 @ 633 nm)
● 複数面あるプリズムへのコーティング
● 直径300mmまでの大きいウエハーへのコーティング

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