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IBSコート光学系 ::::: 超短パルスレーザー用低 GDDミラー

最終更新日: 2022-03-09 08:32:34.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

IBSコート光学系 ::::: 短パルスレーザ用 低GDDミラー
IBSコート光学系 ::::: 短パルスレーザ用 低GDDミラー 製品画像
● ウルトラファースト用途に最適化
● GDD（群遅延分散）を限りなく0fsに近く補正
● 最適化されたGDDを保持しながら反射率Rs>99.95%・Rp>99.95%
● 高い損傷閾値 >0.4J/cm2 at 1030nm, -300fs, 1kHz
● ワイドなスペクトル帯域で高い反射率 Ex) 650～1200nm with R>99.9%
IBSコート光学系 ::::: UV波長高出力対応レーザーミラー
IBSコート光学系 ::::: UV波長高出力対応レーザーミラー 製品画像
◆仕様例◆
基板：UVFS
表面品質：10-5, S-D
面精度：λ/8 @ 633 nm over CA
入射角：45°
コーティング：HRsp > 99.7% (@設計波長)
損傷閾値：
　１）343 nm・ピコ秒
　　　> 0.27 J/cm2, 343 nm,1 ps, 50 kHz, p-pol
　　　> 0.52 J/cm2, 343 nm,1 ps, 50 kHz, s-pol
　２）355 nm・ナノ秒
　　　> 6.97 J/cm2, 355 nm, 6 ns,100 Hz, p-pol
　　　> 9.6 J/cm2, 355 nm, 6 ns,100 Hz, s-pol
　３）355 nm・ピコ秒
　　　> 0.25 J/cm2, 355 nm,1 ps, 50 kHz, p-pol
　　　> 0.5 J/cm2, 355 nm,1 ps, 50 kHz, s-pol
【レーザー光学系】IBSコーティングの実力
【レーザー光学系】IBSコーティングの実力 製品画像
高い損傷閾値
● >80 J/cm2, 1030 nm, 10 ns
● >1 J/cm2, 1030 nm, 1 ps
● >30 kW/cm (900 kW/cm2), 1070 nm CW
● >1 J/cm2 @ 1030 nm, 500 fs, 10 kHz, s-pol
●>0.25 J/cm2 @ 266 nm, 180 fs, 10 kHz

超低ロスコーティング
● Super Mirrors HR (R>99.998%)
● 精密薄膜ポラライザ　(Tp/Ts ratio > 10000:1)
● R<0.01%　ARコーティング
● 吸収ロス <1 ppmのコーティング

OPTOMANの特技
● ナイフエッジ光学系のコーティング (edge chips <50 µm)
● 基板に対してアパーチャー100%を可能にするコーティング
● 部分分けされたコーティング
● ストレス補正されたコーティング (PV flatness <λ/20 @ 633 nm)
● 複数面あるプリズムへのコーティング
● 直径300mmまでの大きいウエハーへのコーティング

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