半導体用超高純度ダイアフラムポンプ

最終更新日: 2021-10-05 13:15:44.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

クラス100のクリーンルーム内で組立を実施！特別に設計製作した半導体用エアー駆動式ダイアフラムポンプ
【掲載内容　※詳しくはカタログをご覧ください。】
半導体用超高純度エア駆動ダイアフラムポンプ「SEMIシリーズ」は、半導体製造用に特別に設計製作されています。
製品の組立はクラス100のクリーンルーム内で行っており、全ての部品を純水洗浄し、純水にてテストを行い、最後にプラスチックフォイルに密封され出荷されます。
全ての接液部品をPTFE/TFMで製作した「SEMI T」、「SEMI H」、接液部品がUPPE（超純度ポリエチレン）製の「SEMI E」、SUS316L製の「SEMI S」の4タイプをご用意しております。

【特長】
○金属を一切使用していない
○接液部にO-リングを不使用
○駆動エア部に潤滑油は不使用
○最高使用温度200℃。
〇異なるアプリケーションに対応する為、
異なる材質で設計された4種類のポンプ
○保守修理が極めて簡単
→他の競合製品に比べて補用部品点数が40％と少なく経済的

関連情報

半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ

【製作機種概要】
[機種：SEMI T]
○材質
→センターハウジング：TFM/PTFE
→サイドハウジング：UPPE
○口径：10，20，50，100
○流体：酸及び苛性
[機種：SEMI H]
○材質
→センターハウジング：TFM/PTFE
→サイドハウジング：PTFE
○口径：10，20
○流体：高温度の酸及び苛性
[機種：SEMI E]
○材質
→センターハウジング：UPPE
→サイドハウジング：UPPE
○口径：10，20，50，100
○流体：スラリー
[機種：SEMI S]
○材質
→センターハウジング：SUS316L
→サイドハウジング：SUS316L
○口径：20，50
○流体：溶剤

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

防爆仕様や各種ケミカル対応可能！エア駆動ダブルダイアフラムポンプ

【掲載製品】
■ポリエチレン及びPTFE製ダイアフラムポンプ
■金属製ダイアフラムポンプ
■サニタリー　ダイアフラムポンプ
■高圧ダイアフラムポンプ
■粉体用ダイアフラムポンプ
■ストロークカウンタ
■エア駆動ミキサー（PNEUMIXERS）
■ドラムポンプ
■ソレノイドバルブ付ポンプーMVオプション
■DMFシリーズダイアフラムポンプ
■DMCXシリーズダイアフラムポンプ
■半導体用超高純度ポンプ
■サニタリーポンプ
■その他製品

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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