上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
超純水を使用するシステムにも最適！超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ
【掲載内容】※詳しくはカタログをダウンロードしてください。
Swagelokダイヤフラム・バルブ DRPシリーズは、超高純度薬液供給システムおよび装置向けのSEMI F57-0301に適合し、高性能を実現した設計により、たまり部分を最小限に抑え、高い耐久性を備えています。
空気式、1/4回転手動式2方タイプおよび3方タイプの締め切り用バルブ、流量調節型／流量調節機能付きバイパス型、カスタム・マニホールドなど、さまざまな形状のDRPシリーズ･バルブを取り揃えています。
【特徴】
■優れた流体流路（特許）
■長いサイクル・ライフを実現したダイヤフラム
■高性能を実現したデザイン
■たまりの低減
Swagelokダイヤフラム・バルブ DRPシリーズは、超高純度薬液供給システムおよび装置向けのSEMI F57-0301に適合し、高性能を実現した設計により、たまり部分を最小限に抑え、高い耐久性を備えています。
空気式、1/4回転手動式2方タイプおよび3方タイプの締め切り用バルブ、流量調節型／流量調節機能付きバイパス型、カスタム・マニホールドなど、さまざまな形状のDRPシリーズ･バルブを取り揃えています。
【特徴】
■優れた流体流路（特許）
■長いサイクル・ライフを実現したダイヤフラム
■高性能を実現したデザイン
■たまりの低減
関連情報
超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ
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DRP(TM)シリーズは、CMPスラリー、酸、化学薬品、超高純度脱イオン水の供給システムをはじめとする多くの過酷なウェットケミカル・プロセス用途にて高い清浄性と耐久性を提供するフルオロポリマー製ダイヤフラム・バルブです。同シリーズは、1/4回転手動式と空気作動式の2種類のモデルがあります。また、エンド・コネクションは、スーパー300タイプピラーフィッティング(R)やフレアー継手を標準供給いたします。さらに、ご要望に応じて、お客さまのシステム条件に適合したさまざまなマニホールド形状やエンド・コネクションにも対応します。
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