上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
超純水を使用するシステムにも最適！超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ
【掲載内容】※詳しくはカタログをダウンロードしてください。
Swagelokダイヤフラム・バルブ DRPシリーズは、超高純度薬液供給システムおよび装置向けのSEMI F57-0301に適合し、高性能を実現した設計により、たまり部分を最小限に抑え、高い耐久性を備えています。
空気式、1/4回転手動式2方タイプおよび3方タイプの締め切り用バルブ、流量調節型／流量調節機能付きバイパス型、カスタム・マニホールドなど、さまざまな形状のDRPシリーズ･バルブを取り揃えています。
【特徴】
■優れた流体流路（特許）
■長いサイクル・ライフを実現したダイヤフラム
■高性能を実現したデザイン
■たまりの低減
Swagelokダイヤフラム・バルブ DRPシリーズは、超高純度薬液供給システムおよび装置向けのSEMI F57-0301に適合し、高性能を実現した設計により、たまり部分を最小限に抑え、高い耐久性を備えています。
空気式、1/4回転手動式2方タイプおよび3方タイプの締め切り用バルブ、流量調節型／流量調節機能付きバイパス型、カスタム・マニホールドなど、さまざまな形状のDRPシリーズ･バルブを取り揃えています。
【特徴】
■優れた流体流路（特許）
■長いサイクル・ライフを実現したダイヤフラム
■高性能を実現したデザイン
■たまりの低減
関連情報
超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ
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DRP(TM)シリーズは、CMPスラリー、酸、化学薬品、超高純度脱イオン水の供給システムをはじめとする
多くの過酷なウェットケミカル・プロセス用途にて高い清浄性と耐久性を提供するフルオロポリマー製
ダイヤフラム・バルブです。同シリーズは、1/4回転手動式と空気作動式の2種類のモデルがあります。
また、エンド・コネクションは、スーパー300タイプピラーフィッティング(R)やフレアー継手を標準供給いたします。さらに、ご要望に応じて、お客さまのシステム条件に適合したさまざまなマニホールド形状やエンド・コネクションにも対応します。
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スウェージロック・ジャパン
