上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
ALDバルブの常識を覆すパフォーマンス
超高純度用Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD7は、数百万サイクルを超えても高い信頼性と精度のあるパフォーマンスを発揮するバルブが、デバイスの歩留まりの最大化を実現。
常識を覆すパフォーマンスとして「ALD7」を製品ラインアップに追加しました。
【特長】一貫性の追求：流量、スピード、温度、コンパクトなデザイン
・流量係数（Cv値）0.7
・開閉レスポンス・タイム（応答時間）5ミリ秒未満
・高温下での熱安定性
常識を覆すパフォーマンスとして「ALD7」を製品ラインアップに追加しました。
【特長】一貫性の追求：流量、スピード、温度、コンパクトなデザイン
・流量係数（Cv値）0.7
・開閉レスポンス・タイム（応答時間）5ミリ秒未満
・高温下での熱安定性
関連情報
【新製品】超高純度用ダイヤフラム・バルブ『ALD7』
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【仕様】
流量係数（Cv値）：0.7
バルブ間の流量変動：±1％
サイクル・ライフにおける流量変動（使用時）：2％
開状態・閉状態になるまでのレスポンスタイム：<5ms
アクチュエーターのレスポンスの一貫性：±1ms
アクチュエーターの最高使用温度：150℃
バルブの最高使用温度：200℃
高さ（MSM）：75.1mm
フットプリント（MSM）:38.1mm
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈
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高純度用途／超高純度用途のニーズにお応えするため、さまざまなサイズ、材質、形状が揃っているSwagelokバルブをご利用ください。
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スウェージロック・ジャパン
