上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ 技術情報（概要）
【掲載内容】※詳しくはカタログをダウンロードしてご覧ください。
この情報は、DRP シリーズ・バルブに対し、第三者機関とスウェージロックが行ったテストの要約です。
DRP バルブは主に、製品の純度と信頼性が非常に重要である半導体業界において、重要な液体管理を行うために使用することを主たる目的として設計されています。
この情報に記載されている報告データとテスト・プロトコルは、SEMI F57-0301 に基づいています。
【記述項目】
■ パーティクル発生
■ 表面粗さ
■ イオン性コンタミネーション
■ 金属性コンタミネーション
■ 総有機性炭素（ TOC） 量
■ 超純水、 HCl、 スラリーを用いた信頼性テスト
この情報は、DRP シリーズ・バルブに対し、第三者機関とスウェージロックが行ったテストの要約です。
DRP バルブは主に、製品の純度と信頼性が非常に重要である半導体業界において、重要な液体管理を行うために使用することを主たる目的として設計されています。
この情報に記載されている報告データとテスト・プロトコルは、SEMI F57-0301 に基づいています。
【記述項目】
■ パーティクル発生
■ 表面粗さ
■ イオン性コンタミネーション
■ 金属性コンタミネーション
■ 総有機性炭素（ TOC） 量
■ 超純水、 HCl、 スラリーを用いた信頼性テスト
関連情報
超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ
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DRP(TM)シリーズは、CMPスラリー、酸、化学薬品、超高純度脱イオン水の供給システムをはじめとする
多くの過酷なウェットケミカル・プロセス用途にて高い清浄性と耐久性を提供するフルオロポリマー製
ダイヤフラム・バルブです。同シリーズは、1/4回転手動式と空気作動式の2種類のモデルがあります。
また、エンド・コネクションは、スーパー300タイプピラーフィッティング(R)やフレアー継手を標準供給いたします。さらに、ご要望に応じて、お客さまのシステム条件に適合したさまざまなマニホールド形状やエンド・コネクションにも対応します。
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スウェージロック・ジャパン
