上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
ノーマル・クローズ型Swagelok(R) ALD3 ダイヤフラム・バルブ
【技術情報】
■ シート部のヘリウム・リーク・テスト
■ バルブ流量一貫性分析
■ 実験室でのサイクル・テスト
■ アクチュエーターの断熱およびバルブの熱反応性
■ パーティクル・カウント
■ 表面仕上げ
■ 水分分析
■ 炭化水素分析
■ バルブ作動の応答性に関して
■ シート部のヘリウム・リーク・テスト
■ バルブ流量一貫性分析
■ 実験室でのサイクル・テスト
■ アクチュエーターの断熱およびバルブの熱反応性
■ パーティクル・カウント
■ 表面仕上げ
■ 水分分析
■ 炭化水素分析
■ バルブ作動の応答性に関して
関連情報
『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈
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高純度用途／超高純度用途のニーズにお応えするため、さまざまなサイズ、材質、形状が揃っているSwagelokバルブをご利用ください。
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スウェージロック・ジャパン
