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ALD20 (原子層蒸着)用 バルブ:技術情報

最終更新日: 2020-11-04 18:56:42.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

ノーマル・クローズ型Swagelok(R) ALD20 超高純度用バルブ
【技術情報】
■ 大流量の一貫性
■ 真空下での流れ
■ 実験室でのサイクル・テスト
■ バルブ作動の応答性に関して
■ シート部のヘリウム・リーク・テスト
■ 表面仕上げ
■ パーティクル・カウント
■ 炭化水素分析
■ 残留イオン濃度
■ 水分分析

関連情報

『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈
『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈 製品画像

高純度用途/超高純度用途のニーズにお応えするため、さまざまなサイズ、材質、形状が揃っているSwagelokバルブをご利用ください。

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