超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁「CHPシリーズ 」Oリングを使用しないエラストマー・フリー仕様により、クリーンなオペレーションを実現
■ ボディ・接液・接ガス部の材質に、次世代PTFEおよびPFAを採用
■ SEMI F57-0301 に適合
■ エンド・コネクションに、スーパー300タイプピラーフィッティング(R)※またはフレアー継手が供給可能
※ スーパー300タイプピラーフィッティング(R)は日本ピラー工業株式会社の登録商標です。
CHPシリーズ・バルブは、Oリングを使用しないエラストマー・フリー仕様により、クリーンなオペレーションを
可能にしました。
また、ポペットとそのサポート部の形状により、流体の乱流を低減させ、
溜り部分を排除し、圧力損失を最小限に抑えています。
さらに、クラッキング圧力と再シール圧力が低く、独特な構造の外部シールにより、漏れのないシール性能を実現しました。
可能にしました。
また、ポペットとそのサポート部の形状により、流体の乱流を低減させ、
溜り部分を排除し、圧力損失を最小限に抑えています。
さらに、クラッキング圧力と再シール圧力が低く、独特な構造の外部シールにより、漏れのないシール性能を実現しました。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | 超高純度フルオロポリマー逆止弁 CHPシリーズ |
| 用途／実績例 | 薬液供給やCMPスラリー・ラインをはじめとするウェット・システムなどに適しています。 |
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超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁「CHPシリーズ 」
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