上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
CHPシリーズ 次世代PTFE 製接液・接ガス部コンポーネント
超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁（エラストマー・フリー） CHPシリーズは、低いクラッキング圧力および再シール圧力を特徴としており、接液・接ガス部コンポーネントは超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI規格F57-0301に適合しています。
関連情報
超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁「CHPシリーズ 」
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CHPシリーズ・バルブは、Oリングを使用しないエラストマー・フリー仕様により、クリーンなオペレーションを
可能にしました。
また、ポペットとそのサポート部の形状により、流体の乱流を低減させ、
溜り部分を排除し、圧力損失を最小限に抑えています。
さらに、クラッキング圧力と再シール圧力が低く、独特な構造の外部シールにより、漏れのないシール性能を実現しました。
逆止弁 C/CA/CH/CP/CPAシリーズ
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さまざまなクラッキング圧力調整可能型およびクラッキング圧力固定型をご用意しております。
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スウェージロック・ジャパン
