太平化成株式会社

半導体業界向け!シロキサンフリーの補填剤で被害を抑制!

最終更新日: 2024-05-02 10:28:06.0

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シロキサンガスによるウェハー汚染や接点障害を抑制!シロキサン含有量が5μm以下のフッ素ゴム系ペースト状シール剤「HVF-1」!

シロキサンフリーペースト状シール材『HVF-1』はシロキサン含有量が5μm以下なので、シロキサンによる被害を抑制します。
シロキサンによる「ウェハー汚染」や「接点障害」、「金属部の腐食」、「化学反応による異物の発生」、「露光装置レンズの汚れ」を抑制することで、クリーンルーム内部の隙間埋めや、半導体製造装置内部の目地止めに利用可能です。

【特長】
■酸とアルカリ両方の薬品に耐性有り
■常温で自然乾燥
■シリコーンを含んでいないフッ素ゴムが主原料 など

※無料サンプル進呈いたします。
※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

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納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 HVF-1
用途/実績例 【用途】
・配管フランジ部等接合面のシール
・ダクト接合部のシール
・薬液エッチング装置や半導体洗浄装置等のシール、補修
・塗装関係、光学関係、精密機器関係などシロキサンNGな場面でのシール
・耐熱、耐薬品性が必要な設備、装置内部などのシール、補修目的等、シリコン材使用不可のシール剤としての代替 など

詳細情報

HVF-1塗装直後被膜
HVF-1塗装直後被膜

HVF-1塗装直後被膜.JPG

HVF-1塗膜乾燥後
HVF-1塗膜乾燥後

HVF-1塗膜乾燥後.JPG

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