最終更新日:
2020-10-30 12:10:49.0
扱いやすく、メンテナンスもラク。
コストパフォーマンスにすぐれたドライ真空ポンプシリーズ。
基本情報
【特徴】
○コントローラ内蔵タイプ（TD）とコントローラ別置きタイプ（TDN）、N2ガスが不要で経済的なEタイプをご用意
○排気速度(l/min)：650 to 3000
○到達圧力(Pa)：to 0.7
○シーケンサ制御によるすぐれた操作性と多彩な保護機能
○外部信号によるリモート運転、監視も可能
○ポンプ運転・停止及び運転状態をコントローラ表示
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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| 用途／実績例 | 半導体製造プロセス ＦＰＤ製造プロセス 太陽電池製造プロセス |
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大晃機械工業株式会社 陸上事業部
