■高分解能仕様/光学分解能:2.5μm / 3μm(製造時固定)
■FFU(ファンフィルタユニット)標準装備
■各種ピント調整機構搭載
■撮像ユニット・搬送ユニットをブラッシュアップ
〇対象基板 :硬質基板(片面・両面・多層)/セラミックス 他
〇対象基板サイズ:~200(W)×300(L)mm
〇対象基板厚み :~2.0mm
〇光学分解能 :2.5μm/3μm/5μm
■FFU(ファンフィルタユニット)標準装備
■各種ピント調整機構搭載
■撮像ユニット・搬送ユニットをブラッシュアップ
〇対象基板 :硬質基板(片面・両面・多層)/セラミックス 他
〇対象基板サイズ:~200(W)×300(L)mm
〇対象基板厚み :~2.0mm
〇光学分解能 :2.5μm/3μm/5μm