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微細加工技術_フォトファブリケーション

最終更新日: 2024-10-21 14:08:13.0
微細加工技術!電解めっき・シリコンエッチング・ガラスエッチングなどの技術を様々な先端技術の開発に応用!

フォトファブリケーションとは
フォトファブリケーションは、光学技術と化学技術の組み合わせにより、金型を使わないで、複雑、微細な形状をミクロンレベルの精度で短時間に製作することができる精密加工技術です。 物理的加工方法と異なり、この化学的あるいは電気化学的加工方法は加工による変質やバリの発生がなく、加工部も接近させることができるので、精密、微細性が要求される電機部品、電子部品、精密機械部品、医療機器部品などの製造に多用されています。

【※フォトファブリケーション協会_技術解説より】

基本情報

フォトファブリケーション(Photofabrication)は、フォトエッチング(Photo Etching)、フォトケミカルマシ―ニング(Photo Chemical Machining)、フォトケミカルミリング(Photo Chemical Milling)とも呼ばれています。フォトファブリケーションには、写真的技法によって加工素材表面にフォトレジストで画像を形成し、フォトレジストに被覆されていない部分を化学的あるいは電気化学的に溶解除去(エッチング)して製品を製造する[フォトエッチング法]と、フォトレジストのない部分に金属を堆積させ(電気めっき)、その堆積金属自身を製品にする[フォトフォーミング法(電鋳)]の2つがありますが、その他に近年ではエッチング液の代わりに研磨剤を噴射(研削除去)して製品を製造する[サンドブラスト法]も知られています。

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用途/実績例 フォトファブリケーションは生産技術として重要な役割を担っており、リードフレーム、HDD用サスペンション、エンコーダ、TABテープ、各種フィルタ、装飾品などの精密加工部品が生産されています。又、フォトファブリケーション技術を基盤にして、プリント配線板、LSI用フォトマスク、カラー液晶表示装置用のカラーフィルタや半導体などの現在の先端技術も生まれています。

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