太陽ゴム工材株式会社

【精密切削加工事例】PTFE製吸着パッド

最終更新日: 2024-04-08 12:54:35.0
半導体製造装置向けの吸着パッド!加工時の温度管理や材料のアニール処理をして対応

当社で行った「PTFE製吸着パッド」の精密切削加工事例を
ご紹介いたします。

製品に傷をつけないように樹脂の中では軟らかく摩擦係数の極めて低い
PTFEを選定。

23℃付近に特有の転移点があり寸法変化が大きくなるため寸法出しが非常に
難しい材料になりますが、加工時の温度管理や材料のアニール処理をして
対応しています。

【事例概要】
■名称:PTEE製吸着パッド
■材質:PTFE
■寸法:220φX30H
■精度:±0.05
■特長:精度の出しにくいPTEE素材を反りを抑え切削加工

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