上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
関連情報
フォトマスク（半導体・電子部品・プリント基板・LCD等向け）
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【オプション加工詳細】
●表面コーティング（クロムガラスマスクやエルマジョンガラスマスク）
→撥水性や密着性向上による、防汚性・清掃性の向上や、膜面保護や擦傷防止による耐久性向上を実現します。
●クロムガラスマスク向けコーティング
→撥水・撥油性の向上により、汚れの固着を防止し、付着異物も容易に清掃することが可能となります。
●ペリクル付きクロムガラスマスク
→投影露光用クロムマスクで用いられ、異物から守るペリクルが付与されています。
【特殊対応製品】
●静電破壊対応クロムガラスマスク
→導電膜構造が付与されることで、静電気によるクロムパターン破壊を抑制します。
●精度校正用プレート
→穴あけやミゾ、段差などの追加工も可能とするガラスプレート。
印刷機器では印刷位置精度の確認や、外観検査装置のカメラ分析機能のチェック等で活躍します。
【関連資機材】
・ガラスマスク洗浄装置
・ガラスマスク自動外観検査装置
・ガラスマスク保管棚
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
駆動/光学デバイスの位置精度や解像度チェック用『校正用プレート』
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【コーティング TC3 概要】
■材質：Crガラス向け
■目的：清掃性・防汚性の向上
■透過率：95％以上
■膜厚：10 +10/-5nm
■接触角：100°以上
■耐溶剤性：アセトン・IPAで変化なし
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お問い合わせ
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竹田東京プロセスサービス株式会社
