【特長】
○抜群の使い勝手
→必要な操作は全てタッチパネルでの操作(非常停止ボタン除く)
○高メンテナンス性
→専用装置が多い半導体業界において、PLCやサーボモーター(3軸)など汎用品を用いて実現
→専用部品を使わない為、故障時の早期復旧が可能
○低コスト
→専用装置と比べて安価なイニシャルコストで同様の機能を実現
→保守部品や交換部品も汎用品の為、ランニングコストを抑える事が可能
○抜群の使い勝手
→必要な操作は全てタッチパネルでの操作(非常停止ボタン除く)
○高メンテナンス性
→専用装置が多い半導体業界において、PLCやサーボモーター(3軸)など汎用品を用いて実現
→専用部品を使わない為、故障時の早期復旧が可能
○低コスト
→専用装置と比べて安価なイニシャルコストで同様の機能を実現
→保守部品や交換部品も汎用品の為、ランニングコストを抑える事が可能