XYテーブル、Z軸(ヘッド)の操作・駆動方式別のラインアップとなっております。
・フルマニュアルタイプ (XYZ軸全てマニュアル操作)
モデル:T-4909
:T-5100
:T-5100-W(ウェハテーブル突き上げ機構搭載モデル)
・マニュアルタイプ(XYステージマニュアル、Z軸モーター制御)
モデル:T-5300
: T-5300-W(ウェハテーブル突き上げ機構搭載モデル)
・高荷重ボンディング用タイプ(最大 100kg、Z軸モーター制御)
モデル:T-5000
詳しくはカタログをご覧ください。
・フルマニュアルタイプ (XYZ軸全てマニュアル操作)
モデル:T-4909
:T-5100
:T-5100-W(ウェハテーブル突き上げ機構搭載モデル)
・マニュアルタイプ(XYステージマニュアル、Z軸モーター制御)
モデル:T-5300
: T-5300-W(ウェハテーブル突き上げ機構搭載モデル)
・高荷重ボンディング用タイプ(最大 100kg、Z軸モーター制御)
モデル:T-5000
詳しくはカタログをご覧ください。