最終更新日:
2024-10-29 10:50:52.0
最大12インチのウェハ上のバンプのシェア、ツィーザープルテストに最適なボンドテスター
最大12インチのウェハ上のバンプのシェアテスト、ツィーザープルテストに最適な多機能ボンドテスター。回転式測定ヘッドにより、作業者によるセンサー（ロードセル）の付け替え不要。最高50mm/secのステージ移動速度により広範囲のバンプを短時間で測定。回転式シェアセンサーによりウェハの回転が不要。パターン認識対応の自動測定プログラムにより省力化を実現。オプションのブロアー、バキュームクリーナーでツール先端の残渣を除去。ウェハ搬送システムを含めたフルオート仕様のご提案も可能。
基本情報
オランダXYZTEC（ザイズテック）社の最新モデルSigma（シグマ）の8インチ、12インチウェハ専用機。X軸500mm、Y軸370mm可動範囲により、12インチウェハ全域で測定可能。最高50mm/secのステージ移動速度で広範囲の測定もストレスフリーに対応。高倍率のオフセットカメラにより破断面の観察、画像記録。パターン認識対応自動測定機能により、測定作業の大幅な省力化、作業者によるばらつきの可能性を排除。誤差±0.075％の高精度センサー（ロードセル）搭載。回転式ヘッドにセンサーを最大6個搭載可能で、シェア、プルの切り替え時にも作業者によるセンサーの付け替え作業は不要。EFEM対応仕様のフルオート仕様機は海外の大手半導体メーカーで採用実績がございます。
| 価格情報 | 仕様により価格が異なります。詳しくはお問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 6～12か月（仕様により異なります） |
| 型番・ブランド名 | Sigma W12 |
| 用途／実績例 | ウェハ上のはんだバンプのシェアテスト、ツィーザープルテスト、金バンプのシェアテスト。 |
お問い合わせ
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