超音波金属接合されたパワーモジュールの端子やバスバー、大面積のダイシェア等の接合強度が200kgfを超えるシェア強度の測定用に、欧州大手パワーモジュールメーカーの要望により開発されたモデル。高荷重対応専用設計により1000kgf荷重時にたわみ量100μmの高い堅牢性、測定精度±1%を実現。。シェアセンサーはΘ回転に対応し、サンプルをΘ回転させること無しに様々な方向のシェアテストが可能。画像認識による位置補正対応の自動測定機能により自動測定に対応。マニュアル測定時にもカメラにより容易に位置合わせが可能。テストの破片(端子)回収機能も装備。オプションのHalcon画像処理機能により、各種測定・高度な画像処理による認識にも対応します。この度のリニューアルにより、グラナイトシャシー採用により更なる高い位置精度・剛性を実現し、ソフトウェアも改良が加えられました。SEMI S2準拠のキャビネットで安全対策も万全です。
基本情報
オランダXYZTEC(ザイズテック)社はボンドテスターの専業メーカーで、画期的な回転式測定ヘッドの評価が高いSigma(シグマ)で半導体業界の接合強度試験分野でのマーケットリーダーです。モデルSigmaHFは、モデルSigmaで対応出来ない200kgf以上の接合強度の測定が要求される用途向けに専用開発されました。テクノアルファ株式会社は、XYZTEC社製ボンドテスターの日本国内の販売・保守サービスを2003年より提供しております。
価格帯 | 1000万円 ~ 5000万円 |
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納期 |
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※ 6か月以上 |
型番・ブランド名 | オランダXYZTEC社製Sigma HF |
用途/実績例 | パワーモジュールに超音波金属接合された端子・バスバーのシェア強度測定。200kgfを超えるシェア強度を記録するシンタリングされたダイのシェア強度の測定。欧州大手パワーデバイスメーカー等に納入実績がございます。 |
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