最終更新日:
2024-03-13 14:22:59.0
薄膜プロセス中の製品の温度測定用に専用設計された温度測定システム
フルーク・プロセス・インスツルメンツ社（旧社名Datapaq、データパック）の成膜プロセス・真空プロセス専用の温度測定システムです。ロガーを熱から守る耐熱ケースを使用し温度ロガーを成膜装置内に投入することが可能です。真空での使用に特化することで耐熱ケースの小型化に成功し、既存品の耐熱ケースでは寸法的な制約から使用することができなかった様々な成膜装置での温度測定を実現します。データロガーDP5シリーズはユーザーによる電池交換が可能になり、TCOの削減・ダウンタイムの最小化を実現しました。
基本情報
フルーク・プロセス・インスツルメンツ社では各種産業・用途向けに温度測定ロガーシステムを提供しております。本シリーズは真空中の成膜プロセス等に向けに特化された耐熱ケースを開発し、小型化により成膜プロセスにてご使用頂くことを実現致しました。製品の実温度を測定することでより厳密なプロセス管理が可能になり、製品品質の向上に貢献いたします。また真空装置メーカー様では、製品開発・組立後の調整、客先での装置据付調整での温度測定作業の簡略化にも大きく貢献いたします。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 1~3か月 |
| 用途／実績例 | ディスプレイパネル、スマートフォン等の電子デバイス向けガラス、太陽電池パネル・ガラス、レンズ、メガネ用レンズ、フィルム等への薄膜形成プロセス（蒸着、成膜、スパッタリング等）、その他真空プロセス |
お問い合わせ
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テクノアルファ株式会社
