おすすめ情報
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- 薬液供給装置（連続式） P112
- プロセス装置に連続で薬液を供給
- 最終更新日：2022-12-14 16:13:06.0
製品・サービス一覧
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注目製品情報
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- 高圧ポンプユニット KPWシリーズ（組込用）
- 『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユニット（W194×H190×D490） ■エア供給用電磁弁、エアレギュレーター、圧力計を標準内蔵 ■オプションで純水用電磁弁、エア駆動用吐出弁の内蔵、NMP対応シール材を選択可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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- 組込用小型高圧ポンプ『SSBL-XXシリーズ』
- 『SSBL-XXシリーズ』は、純水、IPA、NMPなどをウエハ等に高圧噴射して 膜を除去するリフトオフ装置等に適したポンプです。 エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能。 昇圧部シール材としてフッ素系高分子ポリエチレン（FKM仕様）や カルレッツ（KLZ仕様）を採用しており、2000年から約20年におよぶ 市場供給を誇ります。 【特長】 ■コンパクト設計で組込みに好適 ■操作はエア供給圧を可変することで吐出圧を制御可能 ■エア圧力0.5MPaにて最高17.6MPaまで昇圧可能（SSBL-37.5A） ■昇圧部シール材としてフッ素系高分子ポリエチレン（FKM仕様）や カルレッツ（KLZ仕様）を採用 ■2000年から約20年におよぶ市場供給 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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- 高圧ポンプユニット KPM-5030 ※カスタマイズ可能
- KPM-5030はポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。インバータ内蔵により流量特性を可変でき、外部信号により運転、停止ができます。半導体業界をターゲットとし研磨ウエハの洗浄に適しています。 【特長】 ◆設置面積が小さくコンパクト設計 ◆ポンプの選定により本仕様以外の流量、圧力に対応可能 ※ご要望に応じたカスタマイズが可能です。半導体産業のみならず洗浄に関する案件をお持ちでしたらご相談下さい。
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