上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
少量多品種生産用途に適したコンパクトな装置
高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウを凝縮！
多様化する半導体デバイス、ナノ領域に入ったデザインルール、
益々高度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、
これらの問題をクリアーするソリューションの一つに
コンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。
モデルTCC-803カセット洗浄装置は、この様な高度清浄化をサポートする
高度な洗浄ノウハウが凝縮されています。
■主な特長
ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を目的とした少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置
多様化する半導体デバイス、ナノ領域に入ったデザインルール、
益々高度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、
これらの問題をクリアーするソリューションの一つに
コンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。
モデルTCC-803カセット洗浄装置は、この様な高度清浄化をサポートする
高度な洗浄ノウハウが凝縮されています。
■主な特長
ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を目的とした少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置
関連情報
洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」
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カセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置です。
■特長：
・精密洗浄：ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄
・強力洗浄：ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施
・省スペース：縦型設計で、小フットプリントを実現
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