ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした洗浄装置。
『高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウを凝縮！』
多様化する半導体デバイス、ナノ領域に入ったデザインルール、益々高度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、これらの問題をクリアーするソリューションの一つにコンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。
テクノビジョンが提供するカセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、この様な高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウが凝縮されています。
カセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置です。
■特長：
・精密洗浄：ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄
・強力洗浄：ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施
・省スペース：縦型設計で、小フットプリントを実現
■特長：
・精密洗浄：ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄
・強力洗浄：ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施
・省スペース：縦型設計で、小フットプリントを実現
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | TCC-803 |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
関連ダウンロード
洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」
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