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洗浄装置|ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」

最終更新日: 2023-04-27 16:10:05.0

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ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした洗浄装置。

『高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウを凝縮!』

多様化する半導体デバイス、ナノ領域に入ったデザインルール、益々高度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、これらの問題をクリアーするソリューションの一つにコンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。

テクノビジョンが提供するカセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、この様な高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウが凝縮されています。

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カセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置です。

■特長:
・精密洗浄:ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄
・強力洗浄:ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施
・省スペース:縦型設計で、小フットプリントを実現
価格情報 -
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型番・ブランド名 TCC-803
用途/実績例 詳細は、お問い合わせ下さい。

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