株式会社テクネ計測

腐食性ガス中連続水分分析計 iTMAシリーズ

最終更新日: 2024-11-12 11:46:57.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

腐食性ガス中連続水分分析計 iTMAシリーズ
腐食性ガス中連続水分分析計 iTMAシリーズ 製品画像
〈本体仕様〉
測定範囲:0-10 ppm/v, 0-100 ppm/v, 0-1000 ppm/v, 0-2500 ppm/v, 0-5000 ppm/v(サービス用)
分解能:FS±0.1 %
出  力:0/4~20 mA, 0~10 V 無電圧リレー接点 RS-232C
表  示:LCDタッチパネル
電  源:80-230 VAC、50/60 Hz(8W)
保護等級:IP20、IP54(ポータブル型のケース)

〈センサー仕様〉
精  度:FS±1 %(0-10 ppmレンジ±3 %)
流  量:標準100 SL/h、20 SL/h選定可
使用圧力:0.1~1.5 barg(大気圧推奨)
使用環境温度:+5~+50 ℃
ガス温度:+5~+50 ℃
応答速度:50%応答8秒
ケーブル:3mシールド線、防水コネクタ
接ガス部:6 mmSwegelok (1/4”オプション)
筐体材質:SUS316、ハステロイ他
電極材質:プラチナ、ロジウムより選択
Oリング:バイトン(カルレッツ、FEPオプション)
露点の求め方
露点の求め方 製品画像
○露点を求めるメリット
ものづくりの工程において、ガス中の水分量をコントロールする必要がある箇所で露点が必要になります。例えば、酸素や水蒸気が品質を大きく左右する場面で露点および露点計が使われています。
ここでは半導体の製造と炉での活用方法をもとに、露点を求めるメリットを紹介します。

※詳しくは、下記URLより是非、ご覧ください。
測定ガスに関して
測定ガスに関して 製品画像
以下の様な特徴を持つ背景ガス中では、測定可否を十分判断することが重要です。

1)極性のあるガス
2)イオン分解をしやすいガス
3)腐食性ガス

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