株式会社テクネ計測

静電容量式露点計(酸化アルミニウム)の原理について

最終更新日: 2023-03-17 16:35:06.0
テクネ計測主力製品露点計 TK-100シリーズ の原理

センサーの材質に酸化アルミニウムを使用しており、
水分子量の電気容量を検知し測定しております。
高分子センサーよりも感度が高く、微量水分を検知できますが、
応答速が劣ります。用途としては、半導体、グローブボックス、電池製造など
常時低露点環境で多く利用されております。
測定範囲は、-100 ℃dp~+20 ℃dpです。

静電容量式露点計(酸化アルミニウム)の原理に関する詳細は、
以下URLよりご覧ください。

基本情報

詳細は、お気軽にお問い合わせください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 グローブボックス内の露点管理
ドライヤーの露点チェック
熱処理炉内雰囲気管理
クリーンルーム・ドライルームの露点管理
ガスの純度管理
天然ガス水分管理
半導体製造装置
有機EL製造

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