ティックコーポレーション株式会社

本社

2024-06-21 00:00:00.0
SEMICON WESTに出展します

セミナー・イベント   掲載開始日: 2024-06-21 00:00:00.0

超音波洗浄装置、超音波洗浄スプレーノズルで有名なソノシス社がサンフランシスコで行われるSEMICON WESTに出展します。
最新の超音波洗浄装置、超音波洗浄スプレーノズルの出展を予定しています。
昨今の半導体ブームでウエハーの洗浄のみならず、MEMS、光学レンズの洗浄等、様々なところで超音波洗浄装置が使われています。
当日はソノシス社の社長もブースにいるとの情報です。
この機会に是非、足を運んでみてください。

開催日時 2024年07月09日(火) ~ 2024年07月11日(木)
会場 USA / サンフランシスコ / モスコーニセンター
#1146 (South Hall)
参加費 無料

関連製品情報

超音波メガソニック洗浄装置(枚葉洗浄 / バス・タンク式洗浄)
超音波メガソニック洗浄装置(枚葉洗浄 / バス・タンク式洗浄) 製品画像
最新の超音波洗浄はソノシスにお任せください

超音波洗浄スプレーノズル 非接触単一基板の洗浄にはシングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネルのいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大9MHzまでのメガソニックノズルがございます。 このメガソニックノズルのトランスデューサーはメガソニックを生成し流体(純水など)を通してメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。 メガソニック浸水型トランスデューサー 周波数が400kHz/600kHz/1MHz/2MHzのメガソニック浸水型トランスデューサーです。     ステンレス製又はプラスチック製 (例:PP、PVDFまたはPFA)の密閉されたトランスデューサーを既存タンクの底部又は、側面に設置します。 4"、6"および8"の基板サイズの標準システムに加え、特注で浸水型トランスデューサーも可能です。 非常に順応性の高い構成によりメガソニックシステムをバス・タンク式洗浄の工程に使用することで費用対効果の向上を可能にします。 周波数は400kHz, 600kHz, 1MHz と2MHzをご用意しております。
《ソノシス》超音波スプレーノズル
《ソノシス》超音波スプレーノズル 製品画像
レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

超音波スプレーノズルで形成された粒子(液滴)はピエゾ部分の振動で砕かれます。 即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。 そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。 そこで空気搬送(キャリアエアー)を使用して形成された粒子を搬送させて、塗布させます。

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