リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加で高品位かつフレキシブルな成膜をする装置です
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ニュース
スパッタカソード サービスセンター開設いたしました2024年４月より、アメリカオングストローム・サイエンス社製「マグネトロンスパッタカソード」の点検・修理のサービスセンターを開設いたします。 新たなサービスセンターにはクリーンルーム設備をはじめ、真空…2024-04-01 00:00:00.0企業ニュース
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ティー・ケイ・エス株式会社について
半導体・電子デバイス・光学薄膜製造装置のことなら当社へ
当社は、2016年3月に真空プロセスに関連する世界の先進技術を有する
海外メーカー数社の代理店業務ならびにこれら装置に係わる保守業務を
提供する目的で設立致しました。
当社の取扱製品・装置は、スパッタリング、高密度プラズマソースおよびパルス電源、
イオンビームエッチング・ミリング、イオンビームスパッタリング、
中性クラスターイオンビームプロセス装置、有機材料昇華精製並びに成膜装置、
液体用各種フィルター、洗浄用ブラシなど多岐にわたっています。
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中性クラスターイオンビームプロセス装置、有機材料昇華精製並びに成膜装置、
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