トーアメック株式会社

ファンフィルターユニット(FFU)

最終更新日: 2023-11-14 15:10:37.0
筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。

貴社製造装置のご要望に応じた特注対応のFFUがご提案できます(※1)。
何なりとご要望をお聴かせください。

【主な特注可能な仕様】
1.FFU外形サイズの自由度
貴社筐体とのマッチングを考慮し、必要風量に応じたファンモータを
組み合わせることで最適なFFUを提供いたします。

2.各種フイルタの搭載が可能
 HEPA、ULPA、ボロン対応、低有機ガス対応の他、酸/アルカリ/有機ガス
 除去用のケミカルフイルタとの組み合わせも可能です。

3.チャンバー内差圧取出し用のポート増設

4.CEマーキング対応品もあります(※2)
 
※1) 仕様上で一部ご要望を満足できない内容もございます。
※2) CEマーキングが可能な特注機種には、一部制限がございます。
   ご不明点なり詳細は、弊社窓口までお問い合わせをおねがいします。

基本情報

【ラインアップ】
■DCブラシレスモーター搭載可変風量タイプ
■ACモーター搭載単一風量タイプ
■ACモーター搭載小形タイプ
■特注仕様
 1.施工性向上(ノンシールモデル)
  ・フィルターを内部に落とし込む事で筐体の出っ張りを80mmに!
 2.製品外形寸法、取付方法変更 
  ・製品外形寸法は、短辺長辺共400mm以上であれば製作可能
3.フイルタ仕様の変更
  ・PTFE、ケミカルフイルター等各種フイルターに対応します
 4.外装ステンレス仕様
 5.電源仕様変更

【DCブラシレスモーター搭載のみ対応】
 1.操作部外部取り出しモデル
 2.集中コントローラー対応
 3.CEマーキングの対応が可能(CE対応モデル)
 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
1.半導体製造装置・液晶製造装置  
2.クリーンルーム・クリーブース・クリーンベンチ
3.医療・医薬関連設備
4.食品・バイオ関連設備
5.精密機器・光学機器関連設備  etc...

詳細情報

DCブラシレスモーター搭載可変風量モデル1.png
DCブラシレスモーター搭載可変風量モデル □400mm
*400mm以上の異形寸法対応可能です。
DCブラシレスモーター搭載可変風量モデル2.png
DCブラシレスモーター搭載可変風量モデル □610mm
*400mm以上の異形寸法対応可能です。
ノンシール.jpg
ノンシールタイプ取り付けイメージ
筐体内にフィルターを落とし込んで筐体外は80mmの厚さで取り付け可能!
ノンシールタイプ外観.png
ノンシールタイプ外観
外形が標準品より30mm大きくなります。
吸込み口スペース.png
吸込み口スペース
DCブラシレスモータ搭載タイプで30mm以上
ACモータ搭載タイプで50mm以上確保願います。
DCブラシレスモーター搭載可変風量CE対応モデル.png
DCブラシレスモーター搭載可変風量CE対応モデル
■充実した電源対応:DC入力タイプはDC36V/24Vに対応
         AC入力タイプでは単相100~200V/200~240V
■各種特注仕様でもCEマーキングの対応が可能
・ 製品外径寸法の変更
・ フィルター仕様の変更 ULPA、PTFEフィルター仕様にも対応
・ 操作部外部取り出しタイプへの変更
ステンレス仕様.png
ステンレス対応品
お問い合わせください。
集中コントローラ.png
集中コントローラー
■最大18台まで運転可能
 集中コントローラー(6台)と増設ユニット2台(12台)
ケミカルフィルター2.png
特殊フィルター対応
PTFE,ケミカルフィルター等に対応致します。

お問い合わせ

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