電源装置
東京電子で取り扱う、電源装置のご案内です。
直流電源をはじめ、パルス電源や高圧電源など豊富にラインアップしております。
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技術資料『HiPIMSで 最高クラスのスパッタ成膜を!』
【無料プレゼント】スパッタリング成膜の豆知識や、最大の課題であるアーク異常放電の対策方法などを図解でわかりやすく解説!
最終更新日:
2023-04-05 09:45:27.0
電源装置『アーク抑制型HF-HiPIMS用パルス電源 』
【限定5社デモ機受付中】アーク異常放電を抑制し成膜不良を激減!平均電力アップにより成膜レートを向上させた画期的なパルス電源!
最終更新日:
2023-04-05 09:45:27.0