最終更新日:
2024-10-08 11:36:57.0
【低発塵×長寿命】半導体業界など、クリーンルームでの長ストローク搬送に好適！半導体やFPD業界におけるワークの大型化に対応。
『TKR28H52-EX』は、椿本チエイン独自のたわみ屈曲により、
クリーンかつ低騒音でご使用頂ける長ストローク対応のケーブルベヤです。
半導体製造装置業界を中心に、FPD・食品・医療などクリーンな製造/工程間搬送に
採用されるロボットやスライダなどの搬送距離の長い装置でご利用いただけます。
ケーブルベヤ TKRシリーズの従来の特長である、クリーンなケーブル保護に加え、
『TKR28H52-EX』では更なる長ストローク対応を実現しました。
【特長】
■クリーンルームの長ストローク搬送に好適
■低発塵でクリーンなモノづくりに貢献
■長寿命でメンテナンスが容易
【従来のTKRシリーズからの改良点】
■柔軟材を新形状とし、直線部でも屈曲部でもたわみ変形を少なくして耐久性を向上。
■剛性材を新材料とし、高強度化することで寿命の要因となる
たわみ量の進行を抑制して長寿命化。
■上述の剛性材と柔軟材の一体成形で高強度と柔軟な屈曲を両立、
クリーンに最大5.94mの長ストローク対応を実現。
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【課題解決例】
■課題１
課題：ウエハの大口径化や液晶の大型化に伴い、搬送ロボットのストロークが長くなる。
解決：ロボットの搬送距離が長くなっても、TKR28H52-EXであれば最大移動ストローク5.94mでクリーンかつ長寿命にケーブル保護が可能。
■課題２
課題：半導体等の洗浄装置において、歩留まり改善のために搬送距離が長くなるが、
長ストロークに対応できるケーブルベヤが発塵してワーク不良が発生する。
解決：長い工程間搬送であってもTKR28H52-EXであれば1本のケーブルベヤで対応でき、かつ低発塵でワークの不良率改善に貢献。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ウエハ搬送ロボットの水平移動軸、液晶搬送スライダの水平移動軸、洗浄装置、検査装置、など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せください。 |
お問い合わせ
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株式会社椿本チエイン パワートランスミッション事業部門
